被抽氣體的流道依次經(jīng)過主級羅茨泵、中間羅茨泵、止回閥、水環(huán)式真空泵后，抽氣工作過程結(jié)束后，經(jīng)連接管道進入汽液分離器。氣液分離后，氣體上升，通過上段冷凝器后，部分冷凝介質(zhì)回到汽液分離器。汽液分離器內(nèi)置冷卻盤管，冷卻后補液至水環(huán)式真空泵。

　　杭州新安江工業(yè)泵有限公司設(shè)計的羅茨水環(huán)式成套真空機組具有耐腐蝕性能強，溶劑回收等特點。對整套設(shè)備設(shè)置防返流裝置和清洗閥裝置。同時采用電接點壓力表、真空表來控制羅茨真空泵的啟動和停止，最大限度的保障了羅茨泵的使用壽命。